일본-미국 연구진 EUV 노광장비 효율 2배로 향상시킨 연구 발표

https://youtu.be/o1t7D6Pra48?si=JwoV-olqerhABR4b 일본의 우츠노미야 대학과 미국의 퍼듀 대학이 EUV의 노광 장비의 변환효율의 이론적 상한치를 10.3%까지 높였다고 한다. 나중에 퍼듀 대학 연구원이 나오는데 일본인인 듯하다. ​ 현재는 약 5~6% 정도라고 한다. ​ EUV 장비가 먹는 전력량도 많아서 문제가 되는데 대만에서 TSMC가 사용하는 전력량의 비중이 6%(2020년)에서 12.5%(2025년)로 크게 증가할 것으로 보인다고 한다. ​ 일본에서 NTT가 사용하는 전력량이 일본 전체의 1% 비중이고, 대형 마트 체인 이온그룹도 1% 밖에 안된다고 비교를 하고 있다. ​ 사실 노광 장치 기초연구도 1980년대부터 일본이 진행해서 원조이긴 한데 지금은 ASML이..

2023.11.24